Рентгенівська флуоресценція виникає при опроміненні зразка високоенергетичними фотонами рентгенівської трубки, внаслідок якого відбувається перехід електронів між атомними орбіталями з випромінюванням фотонів флуоресцентного випромінювання. Вимірюючи енергію та інтенсивність (швидкість рахунку) флуоресцентних фотонів можна отримати кількісну та якісну інформацію про хімічний склад речовини проби.